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光譜橢偏儀 為了獲得測量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過程中沒有光學(xué)器件運動。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。通過創(chuàng)新的雙補償器2C設(shè)計擴展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設(shè)計是可現(xiàn)場升級和實現(xiàn)成本效益的附件。
